反射式膜厚測量儀

更新時間：2024-08-16

簡要描述：

SR系列反射式膜厚儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜，手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。

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反射式膜厚測量儀

SR系列反射式膜厚測量儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜，手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。SR可用于測量2納米到3000微米的膜厚，測量精度達到0.1納米。在折射率未知的情況下，還可用于同時對折射率和膜厚進行測量。

此外，SR還可用于測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。A3-SR進行測量簡單可靠，實際測量采樣時間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進行手動測量，每次測量時間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內(nèi)的模型并可對多層膜厚參數(shù)進行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫，同時支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。

同時，客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對材料，菜單進行管理并回溯檢查測量結(jié)果。目標應(yīng)用：半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測量藍寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚，顏色測量卷對卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測量膜厚的場合.

產(chǎn)品型號和系統(tǒng)設(shè)置：

產(chǎn)品型號	A3-SR-100
產(chǎn)品尺寸	W270D217（H90+H140）
產(chǎn)品圖片
測試方式	可見VIS 反射(R)
波長范圍	380nm - 1050 nm
光源	進口鎢鹵素燈壽命10000小時
光路和傳感器	光纖式(FILBER,進口 )+進口光譜儀
入射角	0 度 (垂直入射) (0 DEGREE)
參考光樣品	硅片
光斑大小	About 1 mm（標配，可以根據(jù)用戶要求配置）
樣品大小	10 mm TO 300 mm (可以根據(jù)用戶要求配置)

光學(xué)測量技術(shù)參數(shù)（OPTICAL SPECIFICATION）

測試方式

反射

膜厚測量性能指標（THICKNESS SPECIFICATION）：

產(chǎn)品型號	A3-SR-100
厚度測量¹	15nm - 100 um
折射率¹（厚度要求）	大于100nm
準確性²	2 nm 或0. 5%
精度³	0.1 nm

¹表內(nèi)為典型數(shù)值, 實際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會影響性能

2 使用硅片上的二氧化硅測量，實際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會影響性能

3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測量30次得出的1階標準均方差,每次測量小于1秒.

軟件(SOFTWARE)：

檢測項目	標準型
層數(shù)	10 層
材料	表格型和函數(shù)型
粗糙度模型	有
反射/透射	反射型+透射型
材料庫	表格型+函數(shù)型
入射角	垂直入射
折射率測量	有